溫度是薄膜生長的關(guān)鍵參數(shù)之一，獲得薄膜生長的準確溫度對于控制薄膜生長、分析薄膜生長過程、提高薄膜生長的可重復性等至關(guān)重要。恰當?shù)臏y溫方法對實驗可能起到事半功倍的作用。測量樣品溫度的方法很多，根據(jù)測量方式不同，可將其分為接觸式和非接觸式兩種。接觸式溫度測量即通過溫度計或熱電偶等溫度測量儀來獲得樣品溫度，非接觸式激光測量即在不接觸樣品表面的情況下獲得樣品表面溫度。