非接觸式激光測量由激光器產生線型光束，以一定的傾角投射到待測量目標上，由于待測與基板存在高度差，此時觀測到的目標和基板上的激光束相應出現(xiàn)斷續(xù)落差，根據(jù)三角函數(shù)關系可以用觀測到的落差計算出待測目標與周圍基板存在高度差，從而實現(xiàn)非接觸式的快速測量。

　　

　　非接觸式激光測量采用非接觸式測量材料應變，測量精度高。使用高速激光掃描儀測度試樣上反射帶之間的空間。標距根據(jù)用戶要求制定。從而可以實現(xiàn)小標距進行高延伸量測量。分辨率高從而也可以進行小應變的精確測量。該掃描光束始終保持與試樣垂直，這樣減小了通過觀察窗觀察產生的誤差，同時，將與試樣之間的距離靈敏度降到低點。由于該測量的是反射光,在試樣背面不需要接收器。

　　

　　為了驗證非接觸式激光測量的正確性，還對樣品進行了同步熱偶測溫。在激光入射點1cm處的玻璃樣品表面緊貼另一K型熱電偶，熱偶合金焊接頭用銀漿粘在玻璃表面。這樣既可以增加接頭與玻璃表面的熱接觸面積，增加熱傳導，又可以反射到達接頭表面的熱輻射，減小熱偶本身因吸收輻射升溫引起的測量偏差。熱電偶的導線通過真空密封接線口接出真空腔室外。熱偶溫度采用電壓測量端口測量，并與激光干涉探頭數(shù)據(jù)同步記錄下來。熱偶的溫度-電壓關系通過純水的冰沸點校準。