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光纖光柵加速度傳感器技術(shù)研究
點(diǎn)擊次數(shù):9759 更新日期:2011-03-24
目前,光纖光柵加速度傳感器多采用“塊簧式”結(jié)構(gòu),即將光纖光柵通過(guò)某種方式(如某種結(jié)構(gòu)的彈性元件)與一個(gè)質(zhì)量塊連接在一起。質(zhì)量塊受外界振動(dòng)產(chǎn)生的慣性力作用在光纖光柵上,使光纖光柵產(chǎn)生伸長(zhǎng)或壓縮,從而導(dǎo)致中心反射波長(zhǎng)(或其它參數(shù),如反射光強(qiáng))的變化,通過(guò)檢測(cè)波長(zhǎng)(或其它參數(shù))的漂移量實(shí)現(xiàn)加速度的測(cè)量。典型的FBG加速度傳感器結(jié)構(gòu)這里,a為待測(cè)加速度。從以上分析可以看出,傳感器的固有頻率和靈敏度之間是互相制約的,減小光纖長(zhǎng)度或質(zhì)量塊質(zhì)量能夠提高固有頻率,從而增大傳感器的頻率響應(yīng)范圍,但同時(shí)靈敏度也隨之降低。所以,光纖光柵加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)參數(shù)決定了傳感器的各項(xiàng)性能指標(biāo),如頻率響應(yīng)范圍、zui大檢測(cè)值、傳感器的靈敏度等等。根據(jù)實(shí)際需要合理設(shè)計(jì)傳感結(jié)構(gòu),選擇合適的結(jié)構(gòu)參數(shù)及質(zhì)量塊質(zhì)量,可優(yōu)化傳感器的性能。
光纖光柵加速度傳感的方法
由于裸光纖光柵的機(jī)械性能差,無(wú)法實(shí)用,經(jīng)過(guò)適當(dāng)封裝不僅可以保護(hù)光柵,還能達(dá)到增敏的目的。近年來(lái),研究者們提出了多種基于不同封裝的光纖光柵加速度計(jì):
彈性順變體結(jié)構(gòu)該結(jié)構(gòu)由美國(guó)的Berkoff和Kersey提出[2],如圖2所示。將光纖光柵埋置在纖閃石彈性材料中,形成厚約8mm的矩形順變體結(jié)構(gòu),用兩個(gè)尺寸相同的鋁板充當(dāng)質(zhì)量塊和基底,固定在順變體的上下表面。順變體受質(zhì)量塊慣性力的作用發(fā)生彈性形變,作用在光纖光柵上,引起光纖光柵反射波長(zhǎng)的漂移。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該方法具有較寬的工作頻帶,10~2KHz的平坦響應(yīng)區(qū)間,探測(cè)精度為1mg/√Hz。但此結(jié)構(gòu)沒(méi)有解決交叉串?dāng)_問(wèn)題,且振動(dòng)過(guò)程中光柵容易產(chǎn)生橫向應(yīng)變,導(dǎo)致光纖的雙折射,使光纖光柵反射譜發(fā)生分裂,影響測(cè)量精度。
性梁結(jié)構(gòu)1998年,Tod等人[3]提出了基于彈性梁的光纖光柵加速度傳感器。彈性元件由兩個(gè)互相平行的彈性梁組成,梁的兩端分別固定在鋁框上,如圖3所示。將質(zhì)量塊制成六邊形,點(diǎn)焊在雙梁之間。光纖光柵粘貼在下梁底面的中間位置,以便產(chǎn)生zui大位移,獲得zui大的靈敏度。
此結(jié)構(gòu)的共振頻率可達(dá)1kHz,靈敏度為212.5me/g,且抗橫向干擾能力強(qiáng),交叉去敏度<1%。
但光纖光柵所受應(yīng)變是非均勻的,容易導(dǎo)致光柵啁啾,影響測(cè)量的分辨率。
為了解決光纖光柵軸向應(yīng)變不均的問(wèn)題,提出了基于L型懸臂梁的光纖光柵加速度計(jì)[4,5],如圖4所示。L形剛性懸臂梁一端與質(zhì)量塊相連,另一端通過(guò)片簧與外部鋼架相連。將光纖光柵一端固定在梁上(圖中A點(diǎn)),另一端固定在鋼架上(圖中B點(diǎn)),片簧用來(lái)降低交叉串?dāng)_的影響。質(zhì)量塊在外界振動(dòng)的作用下產(chǎn)生的慣性力,經(jīng)L形梁利用杠桿原理放大后傳遞給光纖光柵,使其產(chǎn)生軸向應(yīng)變,從而引起光纖光柵反射波長(zhǎng)的漂移。此方法將光纖光柵兩端直接固定在鋼架上,避免了柵區(qū)膠粘引起的不均勻,且光纖光柵僅受軸向應(yīng)變,不會(huì)出現(xiàn)啁啾現(xiàn)象,有利于提高傳感器的分辨率,可用于高靈敏度、低頻測(cè)量領(lǐng)域。
2003年,ZhuY.N.等人[6]提出了不等強(qiáng)度懸臂梁結(jié)構(gòu),主要利用不等強(qiáng)度梁對(duì)光纖光柵的啁啾效應(yīng)。如圖5所示,將光纖光柵粘在末端帶有一個(gè)質(zhì)量塊的不等強(qiáng)度懸臂梁上(如矩形懸臂梁),外界振動(dòng)引起梁彎曲,由于沿梁長(zhǎng)度方向的不同位置應(yīng)變不同,導(dǎo)致光纖光柵的啁啾化,使其反射譜展寬,zui終使反射光強(qiáng)發(fā)生變化,通過(guò)檢測(cè)啁啾反射譜光強(qiáng)的大小,實(shí)現(xiàn)測(cè)量加速度的目的。由于溫度變化僅能導(dǎo)致反射波長(zhǎng)的漂移,對(duì)啁啾反射光強(qiáng)影響不大,因此可實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)償,在-20~40℃范圍內(nèi),輸出信號(hào)浮動(dòng)小于5%。實(shí)驗(yàn)測(cè)得線性輸出范圍達(dá)8g,動(dòng)態(tài)范圍26dB。此方法不用額外的裝置實(shí)現(xiàn)了溫度補(bǔ)償,由于解調(diào)系統(tǒng)簡(jiǎn)單、便宜,降低了檢測(cè)成本。但傳感器的動(dòng)態(tài)探測(cè)范圍受反射光強(qiáng)和加速度之間線性關(guān)系的影響,也容易受到光源強(qiáng)度波動(dòng)的影響,測(cè)量精度不高。
1999年,YuYoulong等人[7]提出了等強(qiáng)度懸臂梁無(wú)啁啾調(diào)諧方式,通過(guò)梁的彎曲實(shí)現(xiàn)了光纖光柵反射波長(zhǎng)的線性調(diào)諧。2003年,ShiC.Z.等人[8]將此方法應(yīng)用在加速度測(cè)量上,如圖6所示。將光纖光柵粘在三角形懸臂梁的中心線上,梁的底邊固定在基座上,頂點(diǎn)處固定質(zhì)量塊。由于加速度作用下光纖光柵所受應(yīng)變始終是均勻的,測(cè)量精度較高,為0.28mg/√Hz,且傳感探頭僅受單方向加速度的影響,交叉串?dāng)_低。但結(jié)構(gòu)的固有頻率較低,適用于低頻測(cè)量。
雙光纖光柵結(jié)構(gòu)此結(jié)構(gòu)利用兩個(gè)光纖光柵反射波長(zhǎng)差與反射光功率之間在某一區(qū)域的線性關(guān)系,將加速度導(dǎo)致的波長(zhǎng)變化轉(zhuǎn)換為光強(qiáng)變化,通過(guò)探測(cè)光強(qiáng)大小實(shí)現(xiàn)振動(dòng)的測(cè)量。這種結(jié)構(gòu)具備兩個(gè)優(yōu)點(diǎn):1)由于兩個(gè)光纖光柵處于同一溫度環(huán)境下,溫度引起的波長(zhǎng)漂移可以互相抵消,實(shí)現(xiàn)了溫度補(bǔ)償;2)兩個(gè)光纖光柵均參與結(jié)構(gòu)中,當(dāng)一個(gè)光柵被壓縮時(shí),另一個(gè)被拉伸,使得探測(cè)的波長(zhǎng)變化量與單光柵相比增加了一倍,靈敏度也提高了一倍。
2000年,KrammerPeter等人[9]提出了如圖7所示的結(jié)構(gòu)。它由兩個(gè)反射光譜部分交疊的光纖光柵組成,兩光柵之間由質(zhì)量塊連接。寬帶光源發(fā)出的光波,依次被FBG1、FBG2反射后進(jìn)入探測(cè)器。質(zhì)量塊的位移使光纖光柵反射波長(zhǎng)沿不同方向漂移,引起光纖光柵反射譜交疊區(qū)域的增大和減少,從而導(dǎo)致反射光能量的減少和增加。
加速度計(jì)模型。三對(duì)光纖光柵作為彈性元件,分別從垂直交叉于質(zhì)量塊中心的三個(gè)孔中穿出并對(duì)稱(chēng)地固定于孔內(nèi),如圖8所示,每對(duì)光纖光柵串聯(lián)在一根光纖上,每根光纖的兩端由外部鋼架固定。文中僅對(duì)垂直方向振動(dòng)進(jìn)行了實(shí)驗(yàn),結(jié)果顯示了輸出信號(hào)與加速度之間良好的線性關(guān)系,證實(shí)了溫度補(bǔ)償?shù)挠行裕?0~750Hz的平坦響應(yīng)區(qū)間。
2003年,余有龍等人[11]提出了雙光纖光柵有源振動(dòng)檢測(cè)裝置,如圖9所示。將雙光纖光柵對(duì)稱(chēng)粘貼在等強(qiáng)度懸臂梁的上下表面,并將其作為環(huán)形腔光纖激光器端鏡。當(dāng)振動(dòng)信號(hào)作用在梁的自由端時(shí),通過(guò)觀察激光輸出脈沖及雙光柵波長(zhǎng)漂移量差值的變化,實(shí)現(xiàn)振動(dòng)頻率及幅值的檢測(cè)。實(shí)驗(yàn)表明,振幅測(cè)量范圍在0-6.1mm,低于100Hz條件下,實(shí)驗(yàn)結(jié)果與實(shí)際值基本吻合。
2006年,TengLi等人[12]設(shè)計(jì)了主梁與微梁相結(jié)合的差動(dòng)式結(jié)構(gòu),如圖10所示。主懸臂梁兩邊對(duì)稱(chēng)地放置兩個(gè)微梁,主梁和微梁連著同一個(gè)質(zhì)量塊,雙光纖光柵分別粘在兩個(gè)微梁上。當(dāng)質(zhì)量塊受加速度作用時(shí),其中一個(gè)微梁被拉伸、另一個(gè)被壓縮。采用高彈性剛度的主梁支撐質(zhì)量塊,低彈性剛度的微梁感受力的作用,實(shí)現(xiàn)了不降低靈敏度的同時(shí)顯著地提高系統(tǒng)的固有頻率。理論分析表明,該結(jié)構(gòu)的靈敏度可以達(dá)到53.1pm/g,諧振頻率為250Hz,是同等靈敏度普通懸臂梁結(jié)構(gòu)的3倍。結(jié)構(gòu)中將傳感器靈敏度和諧振頻率分開(kāi)考慮,增加了設(shè)計(jì)的靈活性。
2008年,WuZhaoxia等人[13]提出了如圖11所示的結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)由質(zhì)量塊(M)、四個(gè)條形彈簧片(B)和兩個(gè)內(nèi)置光纖光柵的波導(dǎo)橋(C)組成。四個(gè)彈簧片起到支撐質(zhì)量塊和約束振動(dòng)方向的作用,波導(dǎo)橋由低折射率、可拉伸和壓縮的硅材料制成。質(zhì)量塊受振動(dòng)產(chǎn)生的慣性力作用在波導(dǎo)橋上,使其內(nèi)置的兩個(gè)光纖光柵反射波長(zhǎng)產(chǎn)生互為相反的漂移。實(shí)驗(yàn)測(cè)得響應(yīng)頻率為1kHz,加速度測(cè)量范圍4.3m/s2~340m/s2,分辨率達(dá)到7.5×10-7nm/√Hz。
2009年,張東生等人[14]提出了鋼管式封裝結(jié)構(gòu)。如圖12所示,將光纖光柵1、2串聯(lián)后封裝在細(xì)鋼管內(nèi),質(zhì)量塊穿過(guò)鋼管固定在兩個(gè)光纖光柵中間,鋼管的兩端固定在底座和端蓋上。此結(jié)構(gòu)的工作原理同上述結(jié)構(gòu)類(lèi)似,但采用鋼管式封裝使傳感器的諧振頻率大大提高,可達(dá)3kHz以上,線性測(cè)量范圍0.1~4g,靈敏度669mV/g。但文中沒(méi)有提到交叉串?dāng)_對(duì)傳感器的影響。
除上述結(jié)構(gòu)外,2007年,GregoryH.A.等人[15]提出了基于摻鉺光纖激光器的新型結(jié)構(gòu)。
光纖光柵加速度傳感的方法
由于裸光纖光柵的機(jī)械性能差,無(wú)法實(shí)用,經(jīng)過(guò)適當(dāng)封裝不僅可以保護(hù)光柵,還能達(dá)到增敏的目的。近年來(lái),研究者們提出了多種基于不同封裝的光纖光柵加速度計(jì):
彈性順變體結(jié)構(gòu)該結(jié)構(gòu)由美國(guó)的Berkoff和Kersey提出[2],如圖2所示。將光纖光柵埋置在纖閃石彈性材料中,形成厚約8mm的矩形順變體結(jié)構(gòu),用兩個(gè)尺寸相同的鋁板充當(dāng)質(zhì)量塊和基底,固定在順變體的上下表面。順變體受質(zhì)量塊慣性力的作用發(fā)生彈性形變,作用在光纖光柵上,引起光纖光柵反射波長(zhǎng)的漂移。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該方法具有較寬的工作頻帶,10~2KHz的平坦響應(yīng)區(qū)間,探測(cè)精度為1mg/√Hz。但此結(jié)構(gòu)沒(méi)有解決交叉串?dāng)_問(wèn)題,且振動(dòng)過(guò)程中光柵容易產(chǎn)生橫向應(yīng)變,導(dǎo)致光纖的雙折射,使光纖光柵反射譜發(fā)生分裂,影響測(cè)量精度。
性梁結(jié)構(gòu)1998年,Tod等人[3]提出了基于彈性梁的光纖光柵加速度傳感器。彈性元件由兩個(gè)互相平行的彈性梁組成,梁的兩端分別固定在鋁框上,如圖3所示。將質(zhì)量塊制成六邊形,點(diǎn)焊在雙梁之間。光纖光柵粘貼在下梁底面的中間位置,以便產(chǎn)生zui大位移,獲得zui大的靈敏度。
此結(jié)構(gòu)的共振頻率可達(dá)1kHz,靈敏度為212.5me/g,且抗橫向干擾能力強(qiáng),交叉去敏度<1%。
但光纖光柵所受應(yīng)變是非均勻的,容易導(dǎo)致光柵啁啾,影響測(cè)量的分辨率。
為了解決光纖光柵軸向應(yīng)變不均的問(wèn)題,提出了基于L型懸臂梁的光纖光柵加速度計(jì)[4,5],如圖4所示。L形剛性懸臂梁一端與質(zhì)量塊相連,另一端通過(guò)片簧與外部鋼架相連。將光纖光柵一端固定在梁上(圖中A點(diǎn)),另一端固定在鋼架上(圖中B點(diǎn)),片簧用來(lái)降低交叉串?dāng)_的影響。質(zhì)量塊在外界振動(dòng)的作用下產(chǎn)生的慣性力,經(jīng)L形梁利用杠桿原理放大后傳遞給光纖光柵,使其產(chǎn)生軸向應(yīng)變,從而引起光纖光柵反射波長(zhǎng)的漂移。此方法將光纖光柵兩端直接固定在鋼架上,避免了柵區(qū)膠粘引起的不均勻,且光纖光柵僅受軸向應(yīng)變,不會(huì)出現(xiàn)啁啾現(xiàn)象,有利于提高傳感器的分辨率,可用于高靈敏度、低頻測(cè)量領(lǐng)域。
2003年,ZhuY.N.等人[6]提出了不等強(qiáng)度懸臂梁結(jié)構(gòu),主要利用不等強(qiáng)度梁對(duì)光纖光柵的啁啾效應(yīng)。如圖5所示,將光纖光柵粘在末端帶有一個(gè)質(zhì)量塊的不等強(qiáng)度懸臂梁上(如矩形懸臂梁),外界振動(dòng)引起梁彎曲,由于沿梁長(zhǎng)度方向的不同位置應(yīng)變不同,導(dǎo)致光纖光柵的啁啾化,使其反射譜展寬,zui終使反射光強(qiáng)發(fā)生變化,通過(guò)檢測(cè)啁啾反射譜光強(qiáng)的大小,實(shí)現(xiàn)測(cè)量加速度的目的。由于溫度變化僅能導(dǎo)致反射波長(zhǎng)的漂移,對(duì)啁啾反射光強(qiáng)影響不大,因此可實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)償,在-20~40℃范圍內(nèi),輸出信號(hào)浮動(dòng)小于5%。實(shí)驗(yàn)測(cè)得線性輸出范圍達(dá)8g,動(dòng)態(tài)范圍26dB。此方法不用額外的裝置實(shí)現(xiàn)了溫度補(bǔ)償,由于解調(diào)系統(tǒng)簡(jiǎn)單、便宜,降低了檢測(cè)成本。但傳感器的動(dòng)態(tài)探測(cè)范圍受反射光強(qiáng)和加速度之間線性關(guān)系的影響,也容易受到光源強(qiáng)度波動(dòng)的影響,測(cè)量精度不高。
1999年,YuYoulong等人[7]提出了等強(qiáng)度懸臂梁無(wú)啁啾調(diào)諧方式,通過(guò)梁的彎曲實(shí)現(xiàn)了光纖光柵反射波長(zhǎng)的線性調(diào)諧。2003年,ShiC.Z.等人[8]將此方法應(yīng)用在加速度測(cè)量上,如圖6所示。將光纖光柵粘在三角形懸臂梁的中心線上,梁的底邊固定在基座上,頂點(diǎn)處固定質(zhì)量塊。由于加速度作用下光纖光柵所受應(yīng)變始終是均勻的,測(cè)量精度較高,為0.28mg/√Hz,且傳感探頭僅受單方向加速度的影響,交叉串?dāng)_低。但結(jié)構(gòu)的固有頻率較低,適用于低頻測(cè)量。
雙光纖光柵結(jié)構(gòu)此結(jié)構(gòu)利用兩個(gè)光纖光柵反射波長(zhǎng)差與反射光功率之間在某一區(qū)域的線性關(guān)系,將加速度導(dǎo)致的波長(zhǎng)變化轉(zhuǎn)換為光強(qiáng)變化,通過(guò)探測(cè)光強(qiáng)大小實(shí)現(xiàn)振動(dòng)的測(cè)量。這種結(jié)構(gòu)具備兩個(gè)優(yōu)點(diǎn):1)由于兩個(gè)光纖光柵處于同一溫度環(huán)境下,溫度引起的波長(zhǎng)漂移可以互相抵消,實(shí)現(xiàn)了溫度補(bǔ)償;2)兩個(gè)光纖光柵均參與結(jié)構(gòu)中,當(dāng)一個(gè)光柵被壓縮時(shí),另一個(gè)被拉伸,使得探測(cè)的波長(zhǎng)變化量與單光柵相比增加了一倍,靈敏度也提高了一倍。
2000年,KrammerPeter等人[9]提出了如圖7所示的結(jié)構(gòu)。它由兩個(gè)反射光譜部分交疊的光纖光柵組成,兩光柵之間由質(zhì)量塊連接。寬帶光源發(fā)出的光波,依次被FBG1、FBG2反射后進(jìn)入探測(cè)器。質(zhì)量塊的位移使光纖光柵反射波長(zhǎng)沿不同方向漂移,引起光纖光柵反射譜交疊區(qū)域的增大和減少,從而導(dǎo)致反射光能量的減少和增加。
加速度計(jì)模型。三對(duì)光纖光柵作為彈性元件,分別從垂直交叉于質(zhì)量塊中心的三個(gè)孔中穿出并對(duì)稱(chēng)地固定于孔內(nèi),如圖8所示,每對(duì)光纖光柵串聯(lián)在一根光纖上,每根光纖的兩端由外部鋼架固定。文中僅對(duì)垂直方向振動(dòng)進(jìn)行了實(shí)驗(yàn),結(jié)果顯示了輸出信號(hào)與加速度之間良好的線性關(guān)系,證實(shí)了溫度補(bǔ)償?shù)挠行裕?0~750Hz的平坦響應(yīng)區(qū)間。
2003年,余有龍等人[11]提出了雙光纖光柵有源振動(dòng)檢測(cè)裝置,如圖9所示。將雙光纖光柵對(duì)稱(chēng)粘貼在等強(qiáng)度懸臂梁的上下表面,并將其作為環(huán)形腔光纖激光器端鏡。當(dāng)振動(dòng)信號(hào)作用在梁的自由端時(shí),通過(guò)觀察激光輸出脈沖及雙光柵波長(zhǎng)漂移量差值的變化,實(shí)現(xiàn)振動(dòng)頻率及幅值的檢測(cè)。實(shí)驗(yàn)表明,振幅測(cè)量范圍在0-6.1mm,低于100Hz條件下,實(shí)驗(yàn)結(jié)果與實(shí)際值基本吻合。
2006年,TengLi等人[12]設(shè)計(jì)了主梁與微梁相結(jié)合的差動(dòng)式結(jié)構(gòu),如圖10所示。主懸臂梁兩邊對(duì)稱(chēng)地放置兩個(gè)微梁,主梁和微梁連著同一個(gè)質(zhì)量塊,雙光纖光柵分別粘在兩個(gè)微梁上。當(dāng)質(zhì)量塊受加速度作用時(shí),其中一個(gè)微梁被拉伸、另一個(gè)被壓縮。采用高彈性剛度的主梁支撐質(zhì)量塊,低彈性剛度的微梁感受力的作用,實(shí)現(xiàn)了不降低靈敏度的同時(shí)顯著地提高系統(tǒng)的固有頻率。理論分析表明,該結(jié)構(gòu)的靈敏度可以達(dá)到53.1pm/g,諧振頻率為250Hz,是同等靈敏度普通懸臂梁結(jié)構(gòu)的3倍。結(jié)構(gòu)中將傳感器靈敏度和諧振頻率分開(kāi)考慮,增加了設(shè)計(jì)的靈活性。
2008年,WuZhaoxia等人[13]提出了如圖11所示的結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)由質(zhì)量塊(M)、四個(gè)條形彈簧片(B)和兩個(gè)內(nèi)置光纖光柵的波導(dǎo)橋(C)組成。四個(gè)彈簧片起到支撐質(zhì)量塊和約束振動(dòng)方向的作用,波導(dǎo)橋由低折射率、可拉伸和壓縮的硅材料制成。質(zhì)量塊受振動(dòng)產(chǎn)生的慣性力作用在波導(dǎo)橋上,使其內(nèi)置的兩個(gè)光纖光柵反射波長(zhǎng)產(chǎn)生互為相反的漂移。實(shí)驗(yàn)測(cè)得響應(yīng)頻率為1kHz,加速度測(cè)量范圍4.3m/s2~340m/s2,分辨率達(dá)到7.5×10-7nm/√Hz。
2009年,張東生等人[14]提出了鋼管式封裝結(jié)構(gòu)。如圖12所示,將光纖光柵1、2串聯(lián)后封裝在細(xì)鋼管內(nèi),質(zhì)量塊穿過(guò)鋼管固定在兩個(gè)光纖光柵中間,鋼管的兩端固定在底座和端蓋上。此結(jié)構(gòu)的工作原理同上述結(jié)構(gòu)類(lèi)似,但采用鋼管式封裝使傳感器的諧振頻率大大提高,可達(dá)3kHz以上,線性測(cè)量范圍0.1~4g,靈敏度669mV/g。但文中沒(méi)有提到交叉串?dāng)_對(duì)傳感器的影響。
除上述結(jié)構(gòu)外,2007年,GregoryH.A.等人[15]提出了基于摻鉺光纖激光器的新型結(jié)構(gòu)。